據(jù)了解，晶盛機(jī)電6英寸雙片式碳化硅外延設(shè)備新品發(fā)布會(huì)2月4日落幕，標(biāo)志著晶盛機(jī)電在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域取得重大突破。
晶盛機(jī)電外延設(shè)備研究所所長劉毅介紹，該產(chǎn)品歷時(shí)兩年的研發(fā)、測(cè)試與驗(yàn)證，在外延產(chǎn)能、運(yùn)營成本等方面已取得國際領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，與單片設(shè)備相比，新設(shè)備單臺(tái)產(chǎn)能增加70%，單片運(yùn)營成本降幅可達(dá)30%以上。
